高分解能X線顕微鏡の開発
従来のタングステンに較べ更なる高輝度特性が期待できる材料としてカーボンナノチューブが近年注目されており、いくつかのグループによるＸ線源への応用も報告されているが、その分解能のほとんどがおよそ30μmであり、最も高い分解能でさえ5μm程度である。これは、CNTの陰極材料としての特性理解が不十分であることに加え、電子線を集束する電子光学系の最適化が図られていないことに大きく起因している。我々は、CNT電界放射陰極の実用化を検討する目的で、市販卓上SEMをベースにButler型静電レンズとCNT電界放射陰極を搭載した高分解能X線顕微鏡の開発を進めている。
