量子ビームテクノロジー研究室

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近年,AI, ビッグデータ,5G などの情報通信技術が急速に発展しています。これらの技術が実レベルに達した要因として, CPU などの演算素の性能向上,ハードディスク・SSD などの密度化が上げられます。今後,電デバイスには更なる性能,信頼性が求められており,現在ではデバイスの最線幅はナノメートル(10-9m)に到
達しています。そこで,極微領域での構造観察および材料物性評価技術の進展が求められています。
エレクトロニクス研究室では,デバイス開発・製造プロセスに不可な極微領域での材料・表の分析技術への応に向けて,電・イオン・X 線などの輝度量ビーム源を開発しています。
実際に研究室で開発している電界放出型電・イオンエミッタとよばれ,常に鋭い属の針です。その先端の構造モデルを下にしています。電界イオン顕微鏡像と呼ばれ,明るい輝点の 1 1 つがエミッタ先端の原の位置が観察されています。その先端の構造を 100nm 程度から数個の原まで制御し,そこから放出される電ビーム,イオンビームの特性(電流,エネルギー,スピン,質量電荷)を評価しています。当研究室の評価装置のほとんどが独設計されたもので,装置開発や改良において電気・電回路設計,制御ソフトウェア開発,真空部品の設計を通じて,ものづくりの体験と問題解決能を得てもらいます。

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