研究内容
本研究室では,電界放出型電子源と電界電離型ガスイオン源の基礎特性評価を行っています。詳細は以下のリンクを参照してください。
研究内容の詳細(PDF)
・電界電離型ガスイオン源
・電界放出型スピン偏極電子源
・液体金属電子源を用いたX線顕微鏡
・放出電子のエネルギー分析
・アトムプローブ分析
・電界放出顕微顕微鏡(FEM)
・電界イオン顕微鏡(FIM)
High-brightness electron, ion and photon beam for material analysis